材料分析测试技术 | 透射电子显微镜（TEM）原理动图演示
来源： 发布时间：2023-05-29 08:50:02透射电子显微镜（TEM）
电子与样品中的原子碰撞，而改变方向，从而产生立体角散射。透射电镜是把经加速和聚焦的电子束投射到非常薄的样件上，散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此，可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。
TEM工作图
TEM成像过程
STEM成像不同于平行电子束的TEM，它是利用聚集的电子束在样品上扫描来完成的，与SEM不同之处在于探测器置于试样下方，探测器接收透射电子束流或弹性散射电子束流，经放大后在荧光屏上显示出明场像和暗场像。
STEM分析图
入射电子束照射试样表面发生弹性散射，一部分电子所损失能量值是样品中某个元素的特征值，由此获得能量损失谱（EELS），利用EELS可以对薄试样微区元素组成、化学键及电子结构等进行分析。
EELS原理图